　　超純水系統總體來說一般可分為三個部分：超純水制造區（CUB部分）；超純水拋光循環區（FAB部分）；超純水輸送管網（FAB各使用區）。在超純水系統中管材的選用也非常重要,既要能做到保證水質、又應該做到經濟合理。超純水系統中常用管材主要包括:PVC、SGP、SGP(RL)、SUS304、CPVC、SUS316及PVDF等管材。一般在超純水制造區預處理階段多采用PVC管或SUS304管。

　　其中超純水制造區為復雜其又可分為：預處理、一次純水處理、超純水處理三個部分。預處理部分主要包括：沙濾、活性炭塔（有的廠商在沙濾前還增設反應槽、氣浮池）；一次純水部分主要包括：陰陽離子交換塔、脫氣塔（DG）、保安過濾器、紫外線殺菌器及多級反滲透；

　　超純水部分主要包括：MDG（脫氧膜組）、TOC-UV殺菌器、混床（MB）及終端過濾器。但是由于考慮到在向工藝線設備輸送高純水過程中，輸水管道會對水質再次造成污染，因而在FAB內一般都設立拋光循環系統。拋光循環系統主要以MB為核心，再加上超濾設備（UF），以除去在向工藝生產線輸送純水的過程中，管網溶入水中的雜質。

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